一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111176826.X

申请日：

2021-10-09

公开(公告)号：

CN113913750A

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

王新强袁冶刘上锋王钇心李泰万文婷

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖园区学府路1号12栋302室

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1402 C23C1435 C23C1458 H01L3300

代理机构：

东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424

代理人：

周文

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/06 变更事项:发明人变更前:王新强袁冶刘上锋王钇心李泰万文婷变更后:王新强袁冶刘上锋王钇心李泰
2022-01-11	公开	公开
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20211009
2022-02-25	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/06 登记生效日:20220215 变更事项:申请人变更前权利人:中紫半导体科技（东莞）有限公司变更后权利人:松山湖材料实验室变更事项:地址变更前权利人:523000 广东省东莞市松山湖园区学府路1号12栋302室变更后权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

共 50 条

[1]

高质量氮化铝模板及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

李泰 ;

王钇心 ;

李铎 ;

万文婷 .

中国专利 :CN113897678A ,2022-01-07

[2]

一种制备高质量氮化铝模板的方法 [P].

吴亮 ;

付丹扬 ;

王琦琨 ;

朱如忠 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN111883651A ,2020-11-03

[3]

极性可控的高质量AlN模板制备方法 [P].

刘志彬 ;

郭亚楠 ;

闫建昌 ;

李晋闽 ;

王军喜 .

中国专利 :CN111676451A ,2020-09-18

[4]

高质量氮化铝模板及其制备方法和应用 [P].

张纪才 ;

刘婷 .

中国专利 :CN114203535B ,2022-03-18

[5]

一种制备高质量硅基氮化铝模板的方法 [P].

吴亮 ;

付丹扬 ;

王琦琨 ;

朱如忠 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN111809154A ,2020-10-23

[6]

一种高质量掺钪氮化铝薄膜模板的制备方法 [P].

吴亮 ;

王琦琨 ;

付丹扬 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN113174574A ,2021-07-27

[7]

一种高质量氮化铝单晶的生长方法 [P].

杨丽雯 ;

程章勇 ;

刘欣宇 ;

杨雷雷 .

中国专利 :CN107955970B ,2018-04-24

[8]

一种大批量制备高质量氮化铝模板的加热装置 [P].

吴亮 ;

王琦琨 ;

刘欢 ;

雷丹 ;

黄嘉丽 ;

龚建超 ;

朱如忠 ;

黄毅 .

中国专利 :CN210722969U ,2020-06-09

[9]

一种高质量氮化铝压电薄膜及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111697125A ,2020-09-22

[10]

一种高质量氮化铝粉末的微波制备方法 [P].

曾小锋 ;

徐助要 ;

李勇全 .

中国专利 :CN103387214A ,2013-11-13

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