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一种芯片切割后的清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821331230.6
申请日：
2018-08-17
公开(公告)号：
CN208800457U
公开(公告)日：
2019-04-30
发明(设计)人：
朱鹏程
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道大浪办事处大浪社区同富邨工业区2栋3-A
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：
汤东凤
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-29 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20180817 授权公告日:20190430 终止日期:20210817 |
| 2019-04-30 | 授权 | 授权 |