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一种芯片切割后的清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921613038.0
申请日：
2019-09-26
公开(公告)号：
CN211488970U
公开(公告)日：
2020-09-15
发明(设计)人：
蔡志宏
王锟
张文
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村武汉拓创科技有限公司拓创科技产业园二期厂房H栋1-5层2层
IPC主分类号：
B08B1300
IPC分类号：
F26B2100
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-15 | 授权 | 授权 |
| 2022-09-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 13/00 申请日:20190926 授权公告日:20200915 终止日期:20210926 |