铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910564625.3

申请日：

2019-06-27

公开(公告)号：

CN110438472A

公开(公告)日：

2019-11-12

发明(设计)人：

夏玉明卓恩宗

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋，九州阳光1号厂房5、7楼

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C16455 H01L29786 H01L2712

代理机构：

深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240

代理人：

吴国城

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	授权	授权
2019-11-12	公开	公开
2019-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/40 申请日:20190627

共 50 条

[1]

铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制作方法 [P].

李松杉 .

中国专利 :CN107293493A ,2017-10-24

[2]

铟镓锌氧化物薄膜的前驱液及铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

孙荷静 ;

邱恒达 ;

周航 .

中国专利 :CN112018191A ,2020-12-01

[3]

薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法 [P].

徐苗 ;

李民 ;

彭俊彪 ;

王磊 ;

陶洪 ;

邹建华 .

中国专利 :CN108987470B ,2018-12-11

[4]

薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和显示面板 [P].

罗成志 .

中国专利 :CN113345968B ,2021-09-03

[5]

薄膜晶体管显示面板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN206684445U ,2017-11-28

[6]

薄膜晶体管显示面板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN106842690A ,2017-06-13

[7]

金属氧化物薄膜晶体管器件及其制作方法和显示面板 [P].

李育智 ;

龚政 ;

陈志涛 ;

郭婵 ;

王建太 ;

邹胜晗 ;

潘章旭 .

中国专利 :CN114823917A ,2022-07-29

[8]

金属氧化物薄膜晶体管器件及其制作方法和显示面板 [P].

李育智 ;

龚政 ;

陈志涛 ;

郭婵 ;

王建太 ;

邹胜晗 ;

潘章旭 .

中国专利 :CN114823917B ,2025-09-23

[9]

氧化物薄膜晶体管结构的制作方法及氧化物薄膜晶体管结构 [P].

胡宇彤 ;

曾志远 ;

苏智昱 ;

李文辉 ;

吕晓文 ;

石龙强 ;

张合静 .

中国专利 :CN104037090A ,2014-09-10

[10]

用于提升铟镓锌氧化物薄膜晶体管迁移率的制备方法 [P].

唐建石 ;

杨慧敏 ;

杜宜威 ;

李怡均 ;

高滨 ;

钱鹤 ;

吴华强 .

中国专利 :CN119584568B ,2025-11-28

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