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一种激光能量调节装置和检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111268361.0
申请日：
2021-10-29
公开(公告)号：
CN114089526A
公开(公告)日：
2022-02-25
发明(设计)人：
陈珊珊
陈宏璘
龙吟
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
G02B2602
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
刘昌荣
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-25 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/02 申请日:20211029 |