一种碳化硅化学气相沉积反应器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122118366.7

申请日：

2021-09-03

公开(公告)号：

CN215757596U

公开(公告)日：

2022-02-08

发明(设计)人：

梁土钦孔令沂李锡光

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼

IPC主分类号：

C23C1632

IPC分类号：

C23C1644 C23C16455 C30B2508 C30B2514

代理机构：

广东莞信律师事务所 44332

代理人：

谢树宏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器 [P].

石南林 .

中国专利 :CN2283068Y ,1998-06-03

[2]

一种碳化硅化学气相沉积方法及反应器 [P].

高冰 ;

叶宏亮 ;

李俊 .

中国专利 :CN115537769A ,2022-12-30

[3]

用于外延生长碳化硅薄膜的化学气相沉积反应器及方法 [P].

高冰 ;

叶宏亮 ;

李俊 .

中国专利 :CN115613139A ,2023-01-17

[4]

一种碳化硅化学气相沉积设备 [P].

戴煜 ;

胡祥龙 ;

周岳兵 .

中国专利 :CN204097561U ,2015-01-14

[5]

一种化学气相沉积反应器 [P].

胡晓炜 ;

蒋宗法 ;

胡晓阳 .

中国专利 :CN210438836U ,2020-05-01

[6]

一种化学气相沉积反应器 [P].

方明喜 ;

肖学才 ;

常强 .

中国专利 :CN208933470U ,2019-06-04

[7]

一种化学气相沉积反应器 [P].

于伟华 ;

田新 ;

张春伟 ;

江扣龙 ;

王彬 .

中国专利 :CN206015085U ,2017-03-15

[8]

化学气相沉积反应器 [P].

G.K.斯特劳赫 ;

D.布里恩 ;

M.道尔斯伯格 .

中国专利 :CN102612571A ,2012-07-25

[9]

化学气相沉积反应器 [P].

李森田 ;

优瑞·吉欧吉维奇·史瑞特 ;

优瑞·图马索维奇·瑞朋 ;

罗斯南·伊凡诺维奇·葛布诺夫 .

中国专利 :CN1854336A ,2006-11-01

[10]

化学气相沉积反应器 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN101036215A ,2007-09-12

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