一种硅片机械手抓取烘干结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721066256.8

申请日：

2017-08-24

公开(公告)号：

CN207250545U

公开(公告)日：

2018-04-17

发明(设计)人：

古元甲刘晓伟范猛李伟刘沛然孙昊孙毅田志民王少刚秦焱泽辛超石海涛赵朋占

申请人：

申请人地址：

300384 天津市西青区华苑产业园区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片机械手抓取烘干结构 [P].

闵利峰 .

中国专利 :CN211670201U ,2020-10-13

[2]

硅片抓取机械手 [P].

俞超 .

中国专利 :CN203242608U ,2013-10-16

[3]

一种硅片抓取机械手 [P].

张洪旺 ;

史卫利 .

中国专利 :CN207509217U ,2018-06-19

[4]

机械手抓取结构 [P].

刘志兵 .

中国专利 :CN207888306U ,2018-09-21

[5]

一种机械手抓取结构 [P].

宋光伟 .

中国专利 :CN210818662U ,2020-06-23

[6]

一种机械手抓取结构 [P].

薛千忠 ;

贾梦丽 .

中国专利 :CN215469335U ,2022-01-11

[7]

一种机械手抓取结构 [P].

施银宾 .

中国专利 :CN211967565U ,2020-11-20

[8]

一种抓取硅片新型机械手 [P].

徐家庆 .

中国专利 :CN217943376U ,2022-12-02

[9]

机械手抓取结构 [P].

林文渊 ;

易德忠 .

中国专利 :CN222270304U ,2024-12-31

[10]

一种抓取机械手结构 [P].

毛晨晓 ;

陈学宇 ;

吴欣臣 .

中国专利 :CN215749231U ,2022-02-08

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