一种硅片机械手抓取烘干结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020199446.2
申请日
2020-02-24
公开(公告)号
CN211670201U
公开(公告)日
2020-10-13
发明(设计)人
闵利峰
申请人
申请人地址
152000 黑龙江省绥化市北林区丰泽锦源二环路3号高层10号绥化市通利机械制造有限公司
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L21677 H01L2167
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片机械手抓取烘干结构 [P]. 
古元甲 ;
刘晓伟 ;
范猛 ;
李伟 ;
刘沛然 ;
孙昊 ;
孙毅 ;
田志民 ;
王少刚 ;
秦焱泽 ;
辛超 ;
石海涛 ;
赵朋占 .
中国专利 :CN207250545U ,2018-04-17
[2]
一种硅片抓取机械手 [P]. 
张洪旺 ;
史卫利 .
中国专利 :CN207509217U ,2018-06-19
[3]
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俞超 .
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施银宾 .
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齐芊枫 .
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