共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种半导体生产用镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020314627.5
申请日：
2020-03-14
公开(公告)号：
CN212596713U
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
刘卫科
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区唯正路11号星湖都市生活广场3幢520室
IPC主分类号：
B05C102
IPC分类号：
B05C1110
B05C1302
H01L2167
H01L2168
代理机构：
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126
代理人：
赵荣
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 授权 | 授权 |