一种晶圆片切割装置的承载台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910125425.8

申请日：

2019-02-20

公开(公告)号：

CN109624109A

公开(公告)日：

2019-04-16

发明(设计)人：

陈义红李贵林陈聪沈泽彬

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市广州经济技术开发区科学城彩频路11号F201

IPC主分类号：

B28D500

IPC分类号：

B28D704

代理机构：

广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295

代理人：

黄为

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-16	公开	公开
2019-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B28D 5/00 申请日:20190220

共 50 条

[1]

一种晶圆片切割装置的承载台 [P].

陈义红 ;

李贵林 ;

陈聪 ;

沈泽彬 .

中国专利 :CN209665944U ,2019-11-22

[2]

一种晶圆片切割装置的承载台 [P].

盛育 ;

卢凯 ;

韦胜 .

中国专利 :CN213424970U ,2021-06-11

[3]

探针台晶圆片承载台降温装置 [P].

梁经伦 ;

郑东海 ;

郭龙龙 .

中国专利 :CN120072704A ,2025-05-30

[4]

一种晶圆片的激光切割装置 [P].

陈义红 ;

李贵林 ;

陈聪 ;

李陵江 .

中国专利 :CN209919117U ,2020-01-10

[5]

一种晶圆片的激光切割装置 [P].

陈义红 ;

李贵林 ;

陈聪 ;

李陵江 .

中国专利 :CN109693048A ,2019-04-30

[6]

一种晶圆片激光切割装置 [P].

何建军 ;

沈桂英 ;

赵有文 .

中国专利 :CN218016382U ,2022-12-13

[7]

一种硅晶圆激光切割承载台结构 [P].

蔡正道 ;

巩铁建 ;

陶为银 .

中国专利 :CN212885756U ,2021-04-06

[8]

晶圆承载台 [P].

张乐 ;

缪从海 .

中国专利 :CN223052131U ,2025-07-01

[9]

一种晶圆片承载装置 [P].

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN112687600A ,2021-04-20

[10]

一种晶圆片承载装置 [P].

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN112687600B ,2025-01-17

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