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一种半导体光学检测设备用分类装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111558373.7
申请日：
2021-12-20
公开(公告)号：
CN114146949A
公开(公告)日：
2022-03-08
发明(设计)人：
聂剑凯
李征
濮伟伟
申请人：
申请人地址：
215127 江苏省苏州市吴中区甪直镇东庄路89号肯美特设备集成有限公司
IPC主分类号：
B07C534
IPC分类号：
B07C538
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B07C 5/34 申请日:20211220 |
| 2022-03-08 | 公开 | 公开 |