一种大尺寸硅片金刚线切割装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021004873.7
申请日
2020-06-04
公开(公告)号
CN212826177U
公开(公告)日
2021-03-30
发明(设计)人
王伟 张淑荣
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市昆山市陆家镇金夏路8号3号房
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
B28D700
代理机构
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257
代理人
王佳丽
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种大尺寸硅片金刚线切割液 [P]. 
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金刚线切割硅片清洗装置 [P]. 
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