多点表面位移测量方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110245684.1

申请日：

2021-03-05

公开(公告)号：

CN112880572B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

王云泽吴旭武同刘玉杰

申请人：

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区杭州萧山空港经济区保税路西侧保税大厦856室

IPC主分类号：

G01B1103

IPC分类号：

代理机构：

重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙) 50241

代理人：

顾晓玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-01	公开	公开
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/03 申请日:20210305
2022-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

位移测量探头、测量装置及位移测量方法 [P].

王三宏 ;

金少峰 ;

杨灏 .

中国专利 :CN115096194A ,2022-09-23

[2]

位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083A ,2025-03-14

[3]

位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083B ,2025-04-04

[4]

位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[5]

一种多点式孔径位移测量装置及测量方法 [P].

王建安 ;

徐传召 ;

郭亮 ;

周英杰 ;

雷方超 ;

罗静波 ;

薛超 ;

穆国锋 ;

蒋振虹 ;

朱俊鹏 ;

杨京 ;

梁邦秦 ;

樊凯 .

中国专利 :CN113701693A ,2021-11-26

[6]

位移测量装置、位移测量方法及光刻设备 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN111457843B ,2020-07-28

[7]

位移测量装置及采用该位移测量装置的位移测量方法 [P].

汪晓兵 ;

周松萍 ;

周沙 ;

刘伟 .

中国专利 :CN105547123A ,2016-05-04

[8]

霍尔位移测量装置及测量方法 [P].

张东来 .

中国专利 :CN101482387A ,2009-07-15

[9]

位移测量方法和位移测量装置 [P].

小山胜弘 ;

池田正人 .

中国专利 :CN102834690A ,2012-12-19

[10]

位移测量装置和位移测量方法 [P].

安达聪 ;

徳洋平 ;

长谷川年洋 .

中国专利 :CN105806201A ,2016-07-27

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