金属互连线的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210243500.9

申请日：

2012-07-13

公开(公告)号：

CN103545196A

公开(公告)日：

2014-01-29

发明(设计)人：

赵保军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101576164763 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2012102435009 申请日:20120713
2017-04-19	授权	授权
2014-01-29	公开	公开

共 50 条

[1]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956544A ,2013-03-06

[2]

金属互连线的制造方法 [P].

江志琴 .

中国专利 :CN102054754A ,2011-05-11

[3]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956545B ,2013-03-06

[4]

自对准金属互连线的制造方法 [P].

邹立 ;

罗飞 .

中国专利 :CN102034734A ,2011-04-27

[5]

金属互连线的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103187359B ,2013-07-03

[6]

金属互连线的制作方法 [P].

王荣 ;

顾勇 ;

方浩 ;

郭振强 .

中国专利 :CN102569168A ,2012-07-11

[7]

制作金属互连线的方法及具有金属互连线的芯片 [P].

马万里 .

中国专利 :CN104795353A ,2015-07-22

[8]

导电互连线的制造方法 [P].

张傲峰 ;

李建财 ;

陈世昌 ;

王建智 .

中国专利 :CN111211095B ,2024-05-10

[9]

导电互连线的制造方法 [P].

张傲峰 ;

李建财 ;

陈世昌 ;

王建智 .

中国专利 :CN111211095A ,2020-05-29

[10]

金属互连线填充方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN110491833B ,2019-11-22

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