制作金属互连线的方法及具有金属互连线的芯片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410020498.8

申请日：

2014-01-16

公开(公告)号：

CN104795353A

公开(公告)日：

2015-07-22

发明(设计)人：

马万里

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23535

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李迪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101621074390 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014100204988 申请日:20140116
2015-07-22	公开	公开
2018-09-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20150722

共 50 条

[1]

金属互连线的制作方法 [P].

王荣 ;

顾勇 ;

方浩 ;

郭振强 .

中国专利 :CN102569168A ,2012-07-11

[2]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956544A ,2013-03-06

[3]

金属互连线的制造方法 [P].

江志琴 .

中国专利 :CN102054754A ,2011-05-11

[4]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956545B ,2013-03-06

[5]

金属互连线的制造方法 [P].

赵保军 .

中国专利 :CN103545196A ,2014-01-29

[6]

钨金属互连线的制作方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN103972152A ,2014-08-06

[7]

金属互连线填充方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN110491833B ,2019-11-22

[8]

金属互连线的形成方法 [P].

孔秋东 .

中国专利 :CN103730412A ,2014-04-16

[9]

一种制作金属互连线的方法 [P].

周鸣 ;

王宗涛 .

中国专利 :CN103794545A ,2014-05-14

[10]

金属互连线的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103187359B ,2013-07-03

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