金属互连线的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010602566.3

申请日：

2010-12-23

公开(公告)号：

CN102569168A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

王荣顾勇方浩郭振强

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L213105

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324733364 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2010106025663 申请日:20101223
2012-07-11	公开	公开
2015-05-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715221841 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2010106025663 申请公布日:20120711

共 50 条

[1]

钨金属互连线的制作方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN103972152A ,2014-08-06

[2]

金属互连结构的制作方法 [P].

张海洋 ;

伍强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN103531525B ,2014-01-22

[3]

金属连线的制作方法 [P].

丁万春 .

中国专利 :CN101645413A ,2010-02-10

[4]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956544A ,2013-03-06

[5]

金属互连线的制造方法 [P].

江志琴 .

中国专利 :CN102054754A ,2011-05-11

[6]

制作金属互连线的方法及具有金属互连线的芯片 [P].

马万里 .

中国专利 :CN104795353A ,2015-07-22

[7]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956545B ,2013-03-06

[8]

金属互连线的制造方法 [P].

赵保军 .

中国专利 :CN103545196A ,2014-01-29

[9]

金属互连结构的制作方法 [P].

张城龙 ;

胡敏达 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103474389A ,2013-12-25

[10]

金属互连结构的制作方法 [P].

梁学文 ;

陈玉文 ;

胡友存 ;

姬峰 ;

李磊 .

中国专利 :CN102751237A ,2012-10-24

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