一种制作金属互连线的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210419391.1

申请日：

2012-10-29

公开(公告)号：

CN103794545A

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

周鸣王宗涛

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	授权	授权
2014-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582903625 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2012104193911 申请日:20121029
2014-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

钨金属互连线的制作方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN103972152A ,2014-08-06

[2]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956544A ,2013-03-06

[3]

制作金属互连线的方法及具有金属互连线的芯片 [P].

马万里 .

中国专利 :CN104795353A ,2015-07-22

[4]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956545B ,2013-03-06

[5]

金属互连线的制作方法 [P].

王荣 ;

顾勇 ;

方浩 ;

郭振强 .

中国专利 :CN102569168A ,2012-07-11

[6]

自对准金属互连线的制造方法 [P].

邹立 ;

罗飞 .

中国专利 :CN102034734A ,2011-04-27

[7]

互连线结构及互连线结构的形成方法 [P].

李乐 .

中国专利 :CN103077921A ,2013-05-01

[8]

一种金属互连线电迁移的测试结构及方法 [P].

胡晓明 ;

仲志华 ;

韩永召 .

中国专利 :CN100575970C ,2007-06-20

[9]

金属互连线的制造方法 [P].

江志琴 .

中国专利 :CN102054754A ,2011-05-11

[10]

金属互连线的制造方法 [P].

赵保军 .

中国专利 :CN103545196A ,2014-01-29

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