不同结构的深沟槽平坦化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310338016.9

申请日：

2013-08-05

公开(公告)号：

CN104347346B

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

钱志刚刘继全唐锦来

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21306 H01L213105 H01L21311 H01L21336

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

高月红

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601520589 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2013103380169 申请日:20130805
2015-02-11	公开	公开
2017-06-06	授权	授权

共 50 条

[1]

同时填充及平坦化不同尺寸深沟槽的方法 [P].

刘继全 ;

钱志刚 ;

成鑫华 .

中国专利 :CN103035486B ,2013-04-10

[2]

刻蚀和填充深沟槽的方法 [P].

程晓华 ;

肖胜安 .

中国专利 :CN102280402A ,2011-12-14

[3]

一种改善超级结深沟槽外延层平坦化的方法 [P].

刘继全 ;

钱志刚 ;

唐锦来 .

中国专利 :CN103779228B ,2014-05-07

[4]

深沟槽隔离结构的制备方法及深沟槽隔离结构 [P].

周成 .

中国专利 :CN118866808A ,2024-10-29

[5]

深沟槽隔离结构的制备方法及深沟槽隔离结构 [P].

周成 .

中国专利 :CN118866808B ,2024-12-10

[6]

沟槽填充后平坦化的工艺方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN102315093B ,2012-01-11

[7]

深沟槽的刻蚀方法 [P].

郭海亮 ;

姚道州 ;

赵志 ;

任婷婷 ;

汪健 ;

王玉新 .

中国专利 :CN118248540A ,2024-06-25

[8]

深沟槽的硅外延填充方法 [P].

刘继全 ;

肖胜安 ;

季伟 ;

于源源 .

中国专利 :CN102956471A ,2013-03-06

[9]

减少深沟槽结构缺陷源的方法 [P].

郑书红 ;

高宏 .

中国专利 :CN118748145A ,2024-10-08

[10]

深沟槽填充方法 [P].

王雷 ;

李伟峰 .

中国专利 :CN103579073B ,2014-02-12

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