介质反射镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480062896.4

申请日：

2014-09-17

公开(公告)号：

CN106068467A

公开(公告)日：

2016-11-02

发明(设计)人：

G·华安泰

申请人：

申请人地址：

卢森堡迪德朗日

IPC主分类号：

G02B508

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

李琳;许向彤

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-15	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):G02B 5/08 登记生效日:20200424 变更事项:申请人变更前权利人:玻璃与陶瓷研究有限公司卢森堡中心变更后权利人:佳殿欧洲责任有限公司变更事项:地址变更前权利人:卢森堡迪德朗日变更后权利人:卢林堡贝尔特朗日
2016-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101689582992 IPC(主分类):G02B 5/08 专利申请号:2014800628964 申请日:20140917
2016-11-02	公开	公开
2020-08-11	授权	授权

共 50 条

[1]

宽波段反射镜 [P].

金井敏正 ;

樱井武 .

中国专利 :CN102112897A ,2011-06-29

[2]

高反射镜 [P].

井奈绪子 ;

尾山卓司 ;

门胁一生 .

中国专利 :CN1576902A ,2005-02-09

[3]

EUV反射镜和包括EUV反射镜的光学系统 [P].

T.希克坦兹 ;

H-J.保罗 ;

C.扎克齐克 .

中国专利 :CN104919537B ,2015-09-16

[4]

L·旺特隆 ;

O·布埃斯纳德 .

中国专利 :CN102119304A ,2011-07-06

[5]

今西理 .

中国专利 :CN1721886A ,2006-01-18

[6]

宽角度应用高反射镜 [P].

吴砺 ;

刘哲 ;

于光龙 ;

李昱 ;

苏炎 ;

林志强 .

中国专利 :CN110737036A ,2020-01-31

[7]

一种介质膜反射镜及其制备工艺 [P].

曹巍 ;

施敏 .

中国专利 :CN117512527A ,2024-02-06

[8]

一种超高反射率反射镜 [P].

肖志全 .

中国专利 :CN206057617U ,2017-03-29

[9]

一种低损耗反射镜 [P].

刘希强 ;

苏宇 ;

薛青云 .

中国专利 :CN106507977B ,2014-03-05

[10]

EUV反射镜布置、包括EUV反射镜布置的光学系统以及操作包括EUV反射镜布置的光学系统的方法 [P].

U.丁格 ;

F.比杰科克 ;

M.拜拉克塔 ;

O.迪尔 .

中国专利 :CN103443863B ,2013-12-11

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