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一种薄膜拉伸对位曝光机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121553916.1
申请日：
2021-07-08
公开(公告)号：
CN215729273U
公开(公告)日：
2022-02-01
发明(设计)人：
袁大朋
申请人：
申请人地址：
215335 江苏省苏州市昆山市昆山开发区前进东路399号台协国际商务广场2008室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297
代理人：
崔巍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-01 | 授权 | 授权 |