一种曝光对位准度检查机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320324305.9

申请日：

2013-06-06

公开(公告)号：

CN203275878U

公开(公告)日：

2013-11-06

发明(设计)人：

曾智明曾许发甘仕臣

申请人：

申请人地址：

516211 广东省惠州市惠阳区淡水镇新侨村行诚科技园

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

任海燕;陈文福

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20130606 授权公告日:20131106 终止日期:20170606
2013-11-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种自动曝光机对位机构 [P].

林龙峰 .

中国专利 :CN216118393U ,2022-03-22

[2]

一种曝光机对位系统XYY机构 [P].

袁强 ;

刘长征 .

中国专利 :CN202886839U ,2013-04-17

[3]

一种对位曝光辅助机构 [P].

陈川东 ;

邹乾坤 ;

彭维财 ;

李朝臣 .

中国专利 :CN202615116U ,2012-12-19

[4]

对位机构以及设有该对位机构的曝光机 [P].

张方德 ;

谢桂平 .

中国专利 :CN204595429U ,2015-08-26

[5]

一种半自动曝光机的对位机构 [P].

党振 .

中国专利 :CN203204302U ,2013-09-18

[6]

一种改进型曝光机对位机构 [P].

林龙峰 ;

席建普 .

中国专利 :CN216133302U ,2022-03-25

[7]

一种薄膜拉伸对位曝光机构 [P].

袁大朋 .

中国专利 :CN215729273U ,2022-02-01

[8]

一种对位机构以及设有该对位机构的曝光机 [P].

张方德 ;

谢桂平 .

中国专利 :CN104678721A ,2015-06-03

[9]

自动对位机构以及设有该自动对位机构的曝光机 [P].

张方德 ;

谢桂平 .

中国专利 :CN204650131U ,2015-09-16

[10]

一种阻焊曝光对位精度辅助检查装置 [P].

范军杰 ;

蔡明洋 ;

邓峻 .

中国专利 :CN202661042U ,2013-01-09

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