一种对位曝光辅助机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220129110.4
申请日
2012-03-31
公开(公告)号
CN202615116U
公开(公告)日
2012-12-19
发明(设计)人
陈川东 邹乾坤 彭维财 李朝臣
申请人
申请人地址
516035 广东省惠州市惠城区(三栋)数码工业园25号区
IPC主分类号
G03F900
IPC分类号
H05K300
代理机构
广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人
陈文福
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[6]
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[9]
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[10]
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