一种反应腔中反应气体输送控制装置

被引：0

申请号：

CN202122260828.9

申请日：

2021-09-17

公开(公告)号：

CN216585201U

公开(公告)日：

2022-05-24

发明(设计)人：

李冰妍

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市江宁区苏源大道19号九龙湖国际企业总部园B5座二层(江宁开发区)

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167

代理人：

史芳

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种控制反应气体进入真空反应腔的方法 [P].

周旭升 .

中国专利 :CN110137069B ,2019-08-16

[2]

反应器气体输送装置 [P].

张雷 ;

李方臣 ;

陈鹏 ;

张文杰 ;

张长静 ;

王延鹏 ;

王延峰 ;

魏传国 ;

刘立彬 ;

隋文超 .

中国专利 :CN201510867U ,2010-06-23

[3]

一种反应气体流量的稳定控制装置 [P].

陈淑俊 ;

赵铁英 ;

杨光 .

中国专利 :CN203720665U ,2014-07-16

[4]

用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布控制的装置 [P].

金小亮 ;

孙仁君 ;

陈爱华 .

中国专利 :CN101914761A ,2010-12-15

[5]

气体反应连续腔 [P].

曾昭隆 ;

廖科峰 ;

邱文鼎 ;

赵子铭 ;

黄世壬 ;

汪宇炎 ;

黎胜 ;

何文福 .

中国专利 :CN203333756U ,2013-12-11

[6]

一种反应腔气体喷头 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221566314U ,2024-08-20

[7]

一种气体反应器内压强控制装置 [P].

袁方园 .

中国专利 :CN203238325U ,2013-10-16

[8]

气体反应连续腔及气体反应方法 [P].

曾昭隆 ;

廖科峰 ;

邱文鼎 ;

赵子铭 ;

黄世壬 ;

汪宇炎 ;

黎胜 ;

何文福 .

中国专利 :CN104233213A ,2014-12-24

[9]

气体输送装置及使用该气体输送装置的反应器 [P].

雷本亮 .

中国专利 :CN202090055U ,2011-12-28

[10]

一种用于MOCVD反应腔的气体流量控制装置 [P].

魏强 .

中国专利 :CN202359196U ,2012-08-01

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