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一种砷化镓晶体生长用续料装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021586338.7
申请日：
2020-08-03
公开(公告)号：
CN213447379U
公开(公告)日：
2021-06-15
发明(设计)人：
马争荣
王建玲
申请人：
申请人地址：
261500 山东省潍坊市高密市高新技术产业开发区第二孵化器
IPC主分类号：
C30B1100
IPC分类号：
C30B2942
代理机构：
济南诚智商标专利事务所有限公司 37105
代理人：
殷盛江
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-15 | 授权 | 授权 |