一种芯片缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110435622.7

申请日：

2021-04-22

公开(公告)号：

CN113299572A

公开(公告)日：

2021-08-24

发明(设计)人：

贺晓辉李迈克石磊陈耿

申请人：

申请人地址：

402284 重庆市江津区圣泉街道南北大道501号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

重庆莫斯专利代理事务所(普通合伙) 50279

代理人：

刘强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	公开	公开
2021-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210422

共 50 条

[1]

一种芯片缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN103346104B ,2013-10-09

[2]

一种芯片缺陷检测装置及检测方法 [P].

张鹏黎 ;

陆海亮 ;

王帆 .

中国专利 :CN107966453B ,2018-04-27

[3]

一种芯片缺陷检测方法和系统 [P].

李可 ;

孙钰 ;

明雪飞 ;

宿磊 ;

顾杰斐 ;

赵新维 .

中国专利 :CN117788427A ,2024-03-29

[4]

一种半导体芯片晶圆缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

丁超 ;

李锋 ;

汪文坚 ;

袁天恩 .

中国专利 :CN118010734A ,2024-05-10

[5]

一种半导体芯片晶圆缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

丁超 ;

李锋 ;

汪文坚 ;

袁天恩 .

中国专利 :CN118010734B ,2024-08-16

[6]

芯片缺陷检测方法及系统 [P].

柏钧蓝 .

中国专利 :CN110672620B ,2020-01-10

[7]

一种芯片缺陷的检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN103604814A ,2014-02-26

[8]

一种芯片表面缺陷检测方法 [P].

李春啸 .

中国专利 :CN119477834A ,2025-02-18

[9]

一种芯片缺陷视觉检测方法 [P].

吴凡 ;

程镜亮 ;

孟捷 .

中国专利 :CN119515875B ,2025-09-09

[10]

一种芯片缺陷视觉检测方法 [P].

吴凡 ;

程镜亮 ;

孟捷 .

中国专利 :CN119515875A ,2025-02-25

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