CMOS晶体管的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110126339.2

申请日：

2011-05-16

公开(公告)号：

CN102790013A

公开(公告)日：

2012-11-21

发明(设计)人：

甘正浩冯军宏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L218238

IPC分类号：

H01L21324

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-17	授权	授权
2012-11-21	公开	公开
2013-01-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101378928252 IPC(主分类):H01L 21/8238 专利申请号:2011101263392 申请日:20110516

共 50 条

[1]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

鲍宇 ;

张彬 .

中国专利 :CN102915968A ,2013-02-06

[2]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

韦庆松 ;

于书坤 .

中国专利 :CN103730420A ,2014-04-16

[3]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

沈满华 ;

孟晓莹 ;

黄怡 .

中国专利 :CN102446854B ,2012-05-09

[4]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

鲍宇 ;

平延磊 .

中国专利 :CN102983104B ,2013-03-20

[5]

CMOS晶体管及制作方法、NMOS晶体管及制作方法 [P].

平延磊 ;

鲍宇 .

中国专利 :CN103066019A ,2013-04-24

[6]

CMOS晶体管及制作方法、PMOS晶体管及制作方法 [P].

平延磊 .

中国专利 :CN103066020B ,2013-04-24

[7]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

李凤莲 ;

倪景华 .

中国专利 :CN103545257A ,2014-01-29

[8]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

吴金刚 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102420185A ,2012-04-18

[9]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

韦庆松 ;

于书坤 .

中国专利 :CN104037130B ,2014-09-10

[10]

CMOS晶体管及其制作方法 [P].

陈亮 ;

杨林宏 .

中国专利 :CN101930947B ,2010-12-29

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