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一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910013510.5
申请日：
2019-01-07
公开(公告)号：
CN109751961A
公开(公告)日：
2019-05-14
发明(设计)人：
张林峰
申请人：
申请人地址：
610200 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
G06T773
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
文小莉;刘芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20190107 |
| 2022-02-25 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/06 申请公布日:20190514 |
| 2019-05-14 | 公开 | 公开 |