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膜层厚度测量方法及膜层厚度测量装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810634417.1
申请日
:
2018-06-20
公开(公告)号
:
CN108981624A
公开(公告)日
:
2018-12-11
发明(设计)人
:
刘公才
申请人
:
申请人地址
:
430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
IPC主分类号
:
G01B1502
IPC分类号
:
G06T700
G06T713
G06T762
代理机构
:
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人
:
董琳;陈丽丽
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-01-04
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/02 申请日:20180620
2020-07-24
授权
授权
2018-12-11
公开
公开
共 50 条
[1]
膜层厚度测量装置
[P].
焦阳
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
焦阳
;
严翔
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
严翔
;
闫晓晖
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
闫晓晖
;
丁丽真
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0
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0
机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
丁丽真
.
中国专利
:CN223122176U
,2025-07-18
[2]
膜厚度测量方法及膜厚度测量装置
[P].
近藤孝司
论文数:
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近藤孝司
;
冈田奈雄登
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冈田奈雄登
;
荒牧裕胜
论文数:
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荒牧裕胜
;
岩本胜哉
论文数:
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岩本胜哉
.
中国专利
:CN109253700B
,2019-01-22
[3]
膜厚度测量装置和膜厚度测量方法
[P].
高柳顺
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高柳顺
;
大竹秀幸
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大竹秀幸
;
相京秀幸
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相京秀幸
;
藤沢泰成
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藤沢泰成
;
锅岛淳男
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锅岛淳男
.
中国专利
:CN105403178A
,2016-03-16
[4]
一种膜层切割装置及膜层厚度测量系统
[P].
杨驰
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杨驰
.
中国专利
:CN206160986U
,2017-05-10
[5]
厚度测量装置及厚度测量方法
[P].
丰田一贵
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机构:
大塚电子株式会社
大塚电子株式会社
丰田一贵
;
泽村义巳
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机构:
大塚电子株式会社
大塚电子株式会社
泽村义巳
.
日本专利
:CN114325734B
,2025-02-25
[6]
膜厚度测量设备与膜厚度测量方法
[P].
山田惠三
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山田惠三
;
板垣洋辅
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板垣洋辅
;
牛木健雄
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牛木健雄
.
中国专利
:CN1230662C
,2003-07-30
[7]
厚度测量装置及厚度测量方法
[P].
D·克雷坦
论文数:
0
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0
D·克雷坦
.
中国专利
:CN104619264A
,2015-05-13
[8]
厚度测量装置及厚度测量方法
[P].
丰田一贵
论文数:
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0
丰田一贵
;
泽村义巳
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泽村义巳
.
中国专利
:CN114325734A
,2022-04-12
[9]
厚度测量装置及厚度测量方法
[P].
丰田一贵
论文数:
0
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丰田一贵
;
泽村义巳
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0
泽村义巳
.
中国专利
:CN107037437B
,2017-08-11
[10]
混凝土浮浆层厚度测量装置及测量方法
[P].
赵天奇
论文数:
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机构:
中国冶金科工股份有限公司
中国冶金科工股份有限公司
赵天奇
;
徐俊鹏
论文数:
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机构:
中国冶金科工股份有限公司
中国冶金科工股份有限公司
徐俊鹏
;
秦娟
论文数:
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机构:
中国冶金科工股份有限公司
中国冶金科工股份有限公司
秦娟
.
中国专利
:CN120274614A
,2025-07-08
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