一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010864572.X

申请日：

2020-08-25

公开(公告)号：

CN111996532B

公开(公告)日：

2020-11-27

发明(设计)人：

陈重佑吴全贵赖延恩陈国民艾合买提艾尔肯李文斌郑义达骆彦成任建业刘奕丰

申请人：

申请人地址：

364000 福建省龙岩市上杭县蛟洋镇坪埔村新村路71号3层

IPC主分类号：

C23F120

IPC分类号：

B01F2380 B01F3571

代理机构：

厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101

代理人：

徐东峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/20 申请日:20200825
2020-11-27	公开	公开
2022-06-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于电子级铜蚀刻液的制备装置及制备工艺 [P].

陈重佑 ;

吴全贵 ;

赖延恩 ;

陈国民 ;

艾合买提艾尔肯 ;

李文斌 ;

郑义达 ;

骆彦成 ;

任建业 ;

刘奕丰 .

中国专利 :CN112058128B ,2020-12-11

[2]

一种用于电子级二氧化硅蚀刻液的制备装置及制备工艺 [P].

陈重佑 ;

任建业 ;

刘奕丰 ;

邱建铭 ;

陈少骏 ;

郑义达 ;

李文斌 ;

骆彦成 .

中国专利 :CN112044300B ,2020-12-08

[3]

一种铝蚀刻液的制备装置及其制备工艺 [P].

林秋玉 ;

崔文涛 ;

沈军 .

中国专利 :CN118079716A ,2024-05-28

[4]

一种铝蚀刻液的制备装置及其制备工艺 [P].

林秋玉 ;

崔文涛 ;

沈军 .

中国专利 :CN118079716B ,2024-06-28

[5]

一种用于电子级硝酸的制备装置及制备工艺 [P].

胡侃中 ;

任建业 ;

刘奕丰 ;

吴俊贤 ;

骆彦成 ;

邱建铭 ;

郑义达 .

中国专利 :CN111994885A ,2020-11-27

[6]

一种用于电子级双氧水的制备装置及制备工艺 [P].

任建业 ;

胡侃中 ;

刘奕丰 ;

陈少骏 ;

骆彦成 ;

李文斌 ;

赖延恩 .

中国专利 :CN112044342A ,2020-12-08

[7]

一种用于电子级氢氟酸的制备装置及制备工艺 [P].

吴全贵 ;

郑义达 ;

吴俊贤 ;

赖延恩 ;

艾合买提艾尔肯 ;

陈国民 ;

李文斌 ;

骆彦成 .

中国专利 :CN112047302B ,2020-12-08

[8]

一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN110528004A ,2019-12-03

[9]

一种铝蚀刻液制备装置 [P].

李虎宝 ;

刘一平 .

中国专利 :CN214513995U ,2021-10-29

[10]

一种新型酸性钼铝钼蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 ;

沈翠芬 ;

盛建伟 ;

袁晓蕾 .

中国专利 :CN103255417A ,2013-08-21

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