液体处理装置及液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580025536.8

申请日：

2005-03-31

公开(公告)号：

CN100521099C

公开(公告)日：

2007-07-04

发明(设计)人：

锦户修一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

B08B302 B08B504 B08B704 H01L21027

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏;廖凌玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-07-04	公开	公开
2009-07-29	授权	授权
2022-03-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20050331 授权公告日:20090729 终止日期:20210331

共 50 条

[1]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

难波宏光 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN100550291C ,2007-12-19

[2]

液体处理单元及液体处理装置 [P].

吉川直毅 ;

北出祐基 .

中国专利 :CN106573809A ,2017-04-19

[3]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

砂永伸也 .

中国专利 :CN113368750A ,2021-09-10

[4]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

高栁康治 ;

木下尚文 .

中国专利 :CN102569133A ,2012-07-11

[5]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

藤金正树 ;

小野寺真里 ;

今井伸一 .

中国专利 :CN104649378A ,2015-05-27

[6]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

高栁康治 ;

木下尚文 .

中国专利 :CN101826449B ,2010-09-08

[7]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

柏山真人 .

中国专利 :CN111580355A ,2020-08-25

[8]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

山内拓史 ;

砂永伸也 .

中国专利 :CN113390698A ,2021-09-14

[9]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

山嵜和幸 ;

中条数美 ;

岩田耕治 ;

片冈正纪 .

中国专利 :CN101314491A ,2008-12-03

[10]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

鹤崎广太郎 ;

田中裕司 ;

户岛孝之 ;

江岛和善 .

中国专利 :CN1942606A ,2007-04-04

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