液体处理装置及液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710110338.2

申请日：

2007-06-13

公开(公告)号：

CN100550291C

公开(公告)日：

2007-12-19

发明(设计)人：

难波宏光伊藤规宏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2130 H01L2167 B08B300 G03F716 G03F730

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-10-14	授权	授权
2007-12-19	公开	公开
2008-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

锦户修一 .

中国专利 :CN100521099C ,2007-07-04

[2]

液体处理单元及液体处理装置 [P].

吉川直毅 ;

北出祐基 .

中国专利 :CN106573809A ,2017-04-19

[3]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

砂永伸也 .

中国专利 :CN113368750A ,2021-09-10

[4]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

高栁康治 ;

木下尚文 .

中国专利 :CN102569133A ,2012-07-11

[5]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

藤金正树 ;

小野寺真里 ;

今井伸一 .

中国专利 :CN104649378A ,2015-05-27

[6]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

高栁康治 ;

木下尚文 .

中国专利 :CN101826449B ,2010-09-08

[7]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

柏山真人 .

中国专利 :CN111580355A ,2020-08-25

[8]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

山内拓史 ;

砂永伸也 .

中国专利 :CN113390698A ,2021-09-14

[9]

液体处理装置及液体处理方法 [P].

山嵜和幸 ;

中条数美 ;

岩田耕治 ;

片冈正纪 .

中国专利 :CN101314491A ,2008-12-03

[10]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

鹤崎广太郎 ;

田中裕司 ;

户岛孝之 ;

江岛和善 .

中国专利 :CN1942606A ,2007-04-04

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