一种自对准金属氧化物薄膜晶体管器件及制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201280001469.6
申请日
2012-11-12
公开(公告)号
CN104025269A
公开(公告)日
2014-09-03
发明(设计)人
刘自鸿 余晓军 魏鹏
申请人
申请人地址
518057 广东省深圳市南山区高新南环路29号留学生创业大厦2005室
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L29423 H01L29786
代理机构
深圳中一专利商标事务所 44237
代理人
张全文
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
自对准金属氧化物薄膜晶体管器件及制造方法 [P]. 
魏鹏 ;
余晓军 ;
刘自鸿 .
中国专利 :CN104040683B ,2014-09-10
[2]
金属氧化物薄膜晶体管 [P]. 
叶佳俊 ;
王裕霖 ;
蔡学宏 ;
王旨玄 .
中国专利 :CN103035734A ,2013-04-10
[3]
一种自对准的金属氧化物薄膜晶体管的制作方法 [P]. 
张盛东 ;
李绍娟 ;
王漪 ;
孙雷 ;
关旭东 ;
韩汝琦 .
中国专利 :CN101488459A ,2009-07-22
[4]
一种金属氧化物薄膜晶体管存储器件 [P]. 
姚应海 ;
成来军 ;
陆一兵 .
中国专利 :CN222233643U ,2024-12-24
[5]
一种自对准金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P]. 
张盛东 ;
肖祥 ;
迟世鹏 .
中国专利 :CN103311128A ,2013-09-18
[6]
底栅金属氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P]. 
董承远 ;
施俊斐 .
中国专利 :CN102157562A ,2011-08-17
[7]
一种金属氧化物薄膜晶体管器件的制备方法及器件 [P]. 
张冬利 ;
冯雨涵 ;
王明湘 ;
王槐生 ;
吕楠楠 .
中国专利 :CN118866692B ,2024-12-20
[8]
一种金属氧化物薄膜晶体管器件的制备方法及器件 [P]. 
张冬利 ;
冯雨涵 ;
王明湘 ;
王槐生 ;
吕楠楠 .
中国专利 :CN118866692A ,2024-10-29
[9]
一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制造方法 [P]. 
王海宏 ;
焦峰 .
中国专利 :CN103337522A ,2013-10-02
[10]
金属氧化物薄膜晶体管的制作方法 [P]. 
李金明 .
中国专利 :CN106972063B ,2017-07-21