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一种单晶炉的抽真空系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921854318.0
申请日：
2019-10-30
公开(公告)号：
CN210974935U
公开(公告)日：
2020-07-10
发明(设计)人：
姚以力
李光
于德金
申请人：
申请人地址：
528400 广东省中山市翠亨新区和清路14号厂房第一层（住所申报）
IPC主分类号：
C30B3500
IPC分类号：
C30B2920
F04B4106
F04B3714
代理机构：
中山市科创专利代理有限公司 44211
代理人：
谢自安;谢自成
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C30B 35/00 登记生效日:20220301 变更事项:专利权人 变更前权利人:中山荣拓智能装备有限公司 变更后权利人:姚泰 变更事项:地址 变更前权利人:528400 广东省中山市翠亨新区和清路14号厂房第一层（住所申报） 变更后权利人:150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区繁荣街132号 |
| 2020-07-10 | 授权 | 授权 |