单晶炉的抽真空系统及单晶炉的抽真空方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411152280.8

申请日：

2024-08-21

公开(公告)号：

CN118814255A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

陈俊周刚田山恒

申请人：

株洲三一硅能技术有限公司

申请人地址：

412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房

IPC主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/20

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李梦晨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 15/00申请日:20240821
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶炉的抽真空系统 [P].

陈俊 ;

周刚 ;

田山恒 .

中国专利 :CN222923317U ,2025-05-30

[2]

一种单晶炉抽真空系统 [P].

杨昊 ;

李浩宇 .

中国专利 :CN222821706U ,2025-05-02

[3]

一种单晶炉的抽真空系统 [P].

姚以力 ;

李光 ;

于德金 .

中国专利 :CN210974935U ,2020-07-10

[4]

单晶炉抽真空方法和装置 [P].

雷万强 ;

白晓龙 ;

周文辉 ;

罗让尼么 ;

马客非 .

中国专利 :CN120905764A ,2025-11-07

[5]

一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统 [P].

唐胤 ;

李永辉 ;

杨宇昂 .

中国专利 :CN115467801A ,2022-12-13

[6]

一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统 [P].

唐胤 ;

李永辉 ;

杨宇昂 .

中国专利 :CN115467801B ,2025-07-25

[7]

一种单晶炉的两级抽真空系统 [P].

姚以力 ;

李光 ;

于德金 .

中国专利 :CN110671298A ,2020-01-10

[8]

一种单晶炉用组合式抽真空系统 [P].

王立新 ;

李伟 .

中国专利 :CN115111162A ,2022-09-27

[9]

一种单晶炉用组合式抽真空系统 [P].

王立新 ;

李伟 .

中国专利 :CN115111162B ,2025-10-28

[10]

一种单晶炉副室抽真空装置 [P].

韩曙波 .

中国专利 :CN202164377U ,2012-03-14

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