一种单晶炉副室抽真空装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201120226116.9
申请日
2011-06-30
公开(公告)号
CN202164377U
公开(公告)日
2012-03-14
发明(设计)人
韩曙波
申请人
申请人地址
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
IPC主分类号
C30B1500
IPC分类号
C30B3500
代理机构
常州市维益专利事务所 32211
代理人
王凌霄
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶炉的抽真空系统 [P]. 
陈俊 ;
周刚 ;
田山恒 .
中国专利 :CN222923317U ,2025-05-30
[2]
单晶炉的抽真空系统及单晶炉的抽真空方法 [P]. 
陈俊 ;
周刚 ;
田山恒 .
中国专利 :CN118814255A ,2024-10-22
[3]
单晶炉副室和单晶炉 [P]. 
刘阳 ;
周刚 .
中国专利 :CN220724407U ,2024-04-05
[4]
一种单晶炉副室 [P]. 
马四海 ;
刘长清 ;
张笑天 ;
马青 ;
丁磊 ;
芮彪 ;
朱光开 ;
张静 ;
张良贵 ;
向贤平 .
中国专利 :CN205152387U ,2016-04-13
[5]
一种单晶炉副室 [P]. 
周云龙 .
中国专利 :CN216639704U ,2022-05-31
[6]
一种单晶炉抽真空系统 [P]. 
杨昊 ;
李浩宇 .
中国专利 :CN222821706U ,2025-05-02
[7]
一种单晶炉副室清理装置及单晶炉 [P]. 
邹凯 ;
田栋东 ;
李长营 ;
莫磊 ;
张国宏 ;
张德林 ;
陈亮亮 .
中国专利 :CN221566375U ,2024-08-20
[8]
单晶炉副室清理装置 [P]. 
尹祖平 ;
杨刚 ;
李宝飞 ;
胡楚汉 ;
张军 ;
马自成 ;
杨佩均 .
中国专利 :CN215628409U ,2022-01-25
[9]
副炉室及单晶炉 [P]. 
张孝富 ;
陈养俊 ;
万雪健 .
中国专利 :CN222251104U ,2024-12-27
[10]
一种单晶炉副室清理装置 [P]. 
李维琛 ;
王宗江 .
中国专利 :CN223128693U ,2025-07-22