单晶炉的抽真空系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422033119.0

申请日：

2024-08-21

公开(公告)号：

CN222923317U

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

陈俊周刚田山恒

申请人：

株洲三一硅能技术有限公司

申请人地址：

412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房

IPC主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/20

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李梦晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

单晶炉的抽真空系统及单晶炉的抽真空方法 [P].

陈俊 ;

周刚 ;

田山恒 .

中国专利 :CN118814255A ,2024-10-22

[2]

一种单晶炉抽真空系统 [P].

杨昊 ;

李浩宇 .

中国专利 :CN222821706U ,2025-05-02

[3]

一种单晶炉的抽真空系统 [P].

姚以力 ;

李光 ;

于德金 .

中国专利 :CN210974935U ,2020-07-10

[4]

抽真空装置和抽真空系统 [P].

路红建 ;

闫德刚 ;

杨克庆 ;

李文涛 ;

张玉芳 .

中国专利 :CN208605333U ,2019-03-15

[5]

抽真空系统 [P].

李亚 ;

周金男 ;

李建敏 .

中国专利 :CN217107347U ,2022-08-02

[6]

氮化炉抽真空系统 [P].

王占营 ;

宋广林 ;

王志永 ;

王亚辉 ;

王占军 ;

赵万春 .

中国专利 :CN209412296U ,2019-09-20

[7]

一种单晶炉用组合式抽真空系统 [P].

王立新 ;

李伟 .

中国专利 :CN218030526U ,2022-12-13

[8]

一种单晶炉用组合式抽真空系统 [P].

王立新 ;

李伟 .

中国专利 :CN115111162A ,2022-09-27

[9]

一种单晶炉用组合式抽真空系统 [P].

王立新 ;

李伟 .

中国专利 :CN115111162B ,2025-10-28

[10]

一种单晶炉副室抽真空装置 [P].

韩曙波 .

中国专利 :CN202164377U ,2012-03-14

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