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一种晶圆加工用自动卸料研磨机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020978629.4
申请日：
2020-06-02
公开(公告)号：
CN212601160U
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
张伟
张翔瑀
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区景贤路52号1106室
IPC主分类号：
B24B3704
IPC分类号：
B24B3727
B24B3734
B24B4712
B24B4102
B24B4706
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 授权 | 授权 |
| 2022-05-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20200602 授权公告日:20210226 终止日期:20210602 |