用于保持晶片的容纳装置及用于将晶片对齐的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510048231.4

申请日：

2010-12-20

公开(公告)号：

CN104658950B

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

M.温普林格 T.瓦根莱特纳 A.菲尔伯特

申请人：

申请人地址：

奥地利圣弗洛里安

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张涛;刘春元

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-19	授权	授权
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614601240 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2015100482314 申请日:20101220
2015-05-27	公开	公开

共 50 条

[1]

用于保持晶片的容纳装置 [P].

M.温普林格 ;

T.瓦根莱特纳 ;

A.菲尔伯特 .

中国专利 :CN103283000B ,2013-09-04

[2]

用于保持晶片的容纳装置 [P].

M.温普林格 ;

T.瓦根莱特纳 ;

A.菲尔伯特 .

中国专利 :CN106887399A ,2017-06-23

[3]

用于容纳和保持晶片的容纳装置 [P].

M.温普林格 ;

T.瓦根莱特纳 ;

A.菲尔贝特 .

中国专利 :CN103238212A ,2013-08-07

[4]

晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法 [P].

关家一马 .

日本专利 :CN111063646B ,2025-01-14

[5]

晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法 [P].

关家一马 .

中国专利 :CN111063646A ,2020-04-24

[6]

用于测量晶片的装置和方法 [P].

S·韦斯 ;

S·密思 ;

C·魏格尔特 ;

T·贝克 .

德国专利 :CN118749058A ,2024-10-08

[7]

用于测量晶片的装置和方法 [P].

S·韦斯 ;

S·密思 ;

C·魏格尔特 ;

T·贝克 .

德国专利 :CN118786323A ,2024-10-15

[8]

用于测量晶片的装置和方法 [P].

T·贝克 ;

S·密思 ;

O·舒尔茨 ;

C·魏格尔特 ;

S·怀特 .

德国专利 :CN119022804A ,2024-11-26

[9]

用于处理晶片的装置和方法 [P].

P.林德纳 ;

P-O.杭维尔 .

中国专利 :CN103168350B ,2013-06-19

[10]

用于处理晶片的装置和方法 [P].

P.林德纳 ;

P-O.杭维尔 .

中国专利 :CN107978544A ,2018-05-01

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