飞秒激光直写与DMD无掩模光刻复合加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110463256.6

申请日：

2021-04-23

公开(公告)号：

CN113126453A

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

刘华谭明月

申请人：

申请人地址：

130024 吉林省长春市人民大街5268号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F716 G03F900

代理机构：

长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206

代理人：

李晓莉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	公开	公开
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210423

共 50 条

[1]

飞秒激光直写与DMD无掩膜光刻一体化打印设备 [P].

刘华 .

中国专利 :CN110286564A ,2019-09-27

[2]

一种飞秒激光直写光刻胶组合物 [P].

邱毅伟 ;

曹春 ;

沈小明 ;

夏贤梦 ;

匡翠方 ;

黄宁 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113835296A ,2021-12-24

[3]

飞秒激光无掩膜直写系统 [P].

史长坤 ;

金贤敏 ;

方啸天 ;

王楚涵 ;

相保辰 ;

李涛 ;

马杰 .

中国专利 :CN121091614A ,2025-12-09

[4]

一种飞秒激光直写FBG的金属镀膜气压测试方法 [P].

张雯 ;

祝连庆 ;

何巍 ;

董明利 ;

李红 ;

庄炜 ;

何彦霖 .

中国专利 :CN113029426A ,2021-06-25

[5]

一种利用飞秒激光直写技术制备啁啾光纤光栅的方法 [P].

孙洪波 ;

潘学鹏 ;

于永森 ;

国旗 .

中国专利 :CN113009618A ,2021-06-22

[6]

飞秒激光刻写 [P].

K·卡利 .

中国专利 :CN109641318A ,2019-04-16

[7]

一种飞秒激光直写高透视光子光路的方法及装置 [P].

钟理京 ;

谭德志 ;

王涛 .

中国专利 :CN115722793B ,2024-12-17

[8]

光学装置及飞秒激光直写系统 [P].

史长坤 ;

金贤敏 .

中国专利 :CN221040527U ,2024-05-28

[9]

无掩模光刻方法和无掩模光刻设备 [P].

陈晓西 ;

徐律涵 ;

陈松泽 ;

叶茂 .

中国专利 :CN115453823A ,2022-12-09

[10]

一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置 [P].

王伟 .

中国专利 :CN213302559U ,2021-05-28

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