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飞秒激光直写与DMD无掩膜光刻一体化打印设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910559021.X
申请日：
2019-06-26
公开(公告)号：
CN110286564A
公开(公告)日：
2019-09-27
发明(设计)人：
刘华
申请人：
申请人地址：
130024 吉林省长春市人民大街5268号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
长春市吉利专利事务所 22206
代理人：
李晓莉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190626 |
| 2019-09-27 | 公开 | 公开 |