蒸镀设备的载板组件

被引：0

申请号：

CN202221789701.4

申请日：

2022-07-11

公开(公告)号：

CN218026319U

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

裴婷婷

申请人：

申请人地址：

510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨雪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀设备的载板组件及蒸镀设备 [P].

卢铉昊 .

中国专利 :CN215481229U ,2022-01-11

[2]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

刘肖楠 ;

宋锐男 ;

于森 ;

宋裕斌 ;

谢飞 ;

李坡 ;

吕冲 ;

曾义红 ;

唐富强 ;

靳福江 ;

安成国 .

中国专利 :CN207581924U ,2018-07-06

[3]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

曾庆慧 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN204434500U ,2015-07-01

[4]

一种薄膜蒸镀设备载板 [P].

钱万勇 .

中国专利 :CN211036091U ,2020-07-17

[5]

一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置 [P].

徐鹏 .

中国专利 :CN206692717U ,2017-12-01

[6]

蒸镀组件及蒸镀系统 [P].

王浩田 ;

陶敏 ;

杨小翠 .

中国专利 :CN208965014U ,2019-06-11

[7]

一种基板蒸镀载具及蒸镀设备 [P].

申永奇 .

中国专利 :CN206887218U ,2018-01-16

[8]

载台机构和蒸镀设备 [P].

杨成发 ;

岳慧峰 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208104523U ,2018-11-16

[9]

蒸镀机的载台及蒸镀遮罩系统 [P].

王亚 ;

王水俊 ;

范波涛 .

中国专利 :CN205223337U ,2016-05-11

[10]

掩模板、蒸镀掩模板组件及蒸镀设备 [P].

吴建鹏 ;

徐鹏 ;

杨忠英 ;

罗昶 ;

李雪萍 ;

黄立为 ;

于名印 ;

冯巧 ;

佘建民 ;

胡红伟 ;

曹英 ;

宋德雄 ;

辛燕霞 ;

周才龙 .

中国专利 :CN207331041U ,2018-05-08

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