一种薄膜蒸镀设备载板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921966421.4

申请日：

2019-11-14

公开(公告)号：

CN211036091U

公开(公告)日：

2020-07-17

发明(设计)人：

钱万勇

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区浒青路156号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

周超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-17	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

[2]

蒸镀设备的载板组件及蒸镀设备 [P].

卢铉昊 .

中国专利 :CN215481229U ,2022-01-11

[3]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

刘肖楠 ;

宋锐男 ;

于森 ;

宋裕斌 ;

谢飞 ;

李坡 ;

吕冲 ;

曾义红 ;

唐富强 ;

靳福江 ;

安成国 .

中国专利 :CN207581924U ,2018-07-06

[4]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

曾庆慧 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN204434500U ,2015-07-01

[5]

一种电容薄膜蒸镀设备 [P].

林卫良 .

中国专利 :CN221297034U ,2024-07-09

[6]

蒸镀设备的载板组件 [P].

裴婷婷 .

中国专利 :CN218026319U ,2022-12-13

[7]

一种基板蒸镀载具及蒸镀设备 [P].

申永奇 .

中国专利 :CN206887218U ,2018-01-16

[8]

电容薄膜蒸镀处理设备 [P].

徐正奎 ;

徐道远 ;

孙兵 .

中国专利 :CN223201896U ,2025-08-08

[9]

一种薄膜蒸镀装置 [P].

李克松 ;

刘君 ;

傅本艳 .

中国专利 :CN209722277U ,2019-12-03

[10]

一种薄膜蒸镀装置 [P].

臧世伟 .

中国专利 :CN216639638U ,2022-05-31

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