一种晶片传送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811046820.9

申请日：

2018-09-08

公开(公告)号：

CN109273392A

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

沈文杰傅林坚潘文博麻鹏达曹建伟汤成伟章杰峰

申请人：

申请人地址：

311100 浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司 33212

代理人：

周世骏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20180908
2019-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

晶片传送装置 [P].

沈文杰 ;

傅林坚 ;

潘文博 ;

麻鹏达 ;

曹建伟 ;

汤承伟 ;

章杰峰 .

中国专利 :CN208903985U ,2019-05-24

[2]

一种晶片传送装置 [P].

周至军 ;

高英哲 ;

张文福 ;

吕慧超 .

中国专利 :CN209571396U ,2019-11-01

[3]

半导体设备的晶片传送装置 [P].

陆斌 ;

沈剑平 ;

林振芳 .

中国专利 :CN201549487U ,2010-08-11

[4]

一种化学气相沉积工艺腔晶片传送装置 [P].

庞明磊 ;

桂鹏 .

中国专利 :CN201732776U ,2011-02-02

[5]

晶片传送装置 [P].

王利 .

中国专利 :CN102087986B ,2011-06-08

[6]

晶片传送装置 [P].

崔溶元 ;

朴埈吾 .

中国专利 :CN101192556A ,2008-06-04

[7]

晶片传送装置 [P].

曹尚范 ;

许康一 ;

郑炳晋 ;

安晟敦 ;

张喜硕 ;

崔珽晧 .

中国专利 :CN101663745A ,2010-03-03

[8]

晶片传送装置 [P].

金禹永 ;

方寅浩 ;

方泽烨 .

中国专利 :CN1824592B ,2006-08-30

[9]

晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构 [P].

谢旭明 ;

王维新 .

中国专利 :CN105810620B ,2016-07-27

[10]

一种多级晶片传送装置 [P].

欧金森 .

中国专利 :CN110223947B ,2019-09-10

← 1 2 3 4 5 →