晶片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821466760.1

申请日：

2018-09-08

公开(公告)号：

CN208903985U

公开(公告)日：

2019-05-24

发明(设计)人：

沈文杰傅林坚潘文博麻鹏达曹建伟汤承伟章杰峰

申请人：

申请人地址：

311100 浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司 33212

代理人：

周世骏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶片传送装置 [P].

沈文杰 ;

傅林坚 ;

潘文博 ;

麻鹏达 ;

曹建伟 ;

汤成伟 ;

章杰峰 .

中国专利 :CN109273392A ,2019-01-25

[2]

半导体设备的晶片传送装置 [P].

陆斌 ;

沈剑平 ;

林振芳 .

中国专利 :CN201549487U ,2010-08-11

[3]

晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构 [P].

谢旭明 ;

王维新 .

中国专利 :CN204361068U ,2015-05-27

[4]

晶片纠偏装置和晶片传送装置 [P].

王磊 ;

陈伯廷 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210223982U ,2020-03-31

[5]

晶片取片装置 [P].

周一 ;

彭杰 ;

毕洪伟 ;

赵红 ;

黄玉荣 .

中国专利 :CN216698320U ,2022-06-07

[6]

晶片传送装置 [P].

王利 .

中国专利 :CN102087986B ,2011-06-08

[7]

晶片传送装置 [P].

崔溶元 ;

朴埈吾 .

中国专利 :CN101192556A ,2008-06-04

[8]

晶片传送装置 [P].

曹尚范 ;

许康一 ;

郑炳晋 ;

安晟敦 ;

张喜硕 ;

崔珽晧 .

中国专利 :CN101663745A ,2010-03-03

[9]

晶片传送装置 [P].

金禹永 ;

方寅浩 ;

方泽烨 .

中国专利 :CN1824592B ,2006-08-30

[10]

晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构 [P].

谢旭明 ;

王维新 .

中国专利 :CN105810620B ,2016-07-27

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