曝光装置及其曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310069610.2

申请日：

2013-03-05

公开(公告)号：

CN104035285B

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

伍强祖延雷胡华勇顾一鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-29	授权	授权
2014-09-10	公开	公开
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587400382 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100696102 申请日:20130305

共 50 条

[1]

曝光装置及其曝光方法 [P].

刘畅 ;

伍强 .

中国专利 :CN104035287A ,2014-09-10

[2]

曝光装置及曝光方法 [P].

伍强 ;

郝静安 ;

刘畅 ;

姚欣 ;

李天慧 ;

舒强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN103246170B ,2013-08-14

[3]

曝光方法及曝光装置 [P].

町野胜弥 .

中国专利 :CN1369747A ,2002-09-18

[4]

曝光装置以及曝光方法 [P].

近藤洋行 ;

宫地敬 .

中国专利 :CN101015038A ,2007-08-08

[5]

曝光装置以及曝光方法 [P].

永井妥由 .

日本专利 :CN120652749A ,2025-09-16

[6]

一种曝光装置及其曝光方法 [P].

马海涛 ;

赵海生 .

中国专利 :CN103324037A ,2013-09-25

[7]

曝光装置及其对位曝光方法 [P].

王建勋 ;

林庆鸿 ;

吴嘉训 .

中国专利 :CN109375478B ,2019-02-22

[8]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[9]

圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 .

中国专利 :CN104035286A ,2014-09-10

[10]

圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法 [P].

伍强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN104035284A ,2014-09-10

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