圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310069922.3

申请日：

2013-03-05

公开(公告)号：

CN104035286A

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

伍强刘畅郝静安

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F142 G03F144 G03F900

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-10	公开	公开
2015-12-23	授权	授权
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587393806 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100699223 申请日:20130305

共 50 条

[1]

圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法 [P].

伍强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN104035284A ,2014-09-10

[2]

掩模板、曝光系统和曝光方法 [P].

陈珍霞 ;

李凡 ;

姜妮 .

中国专利 :CN103034046A ,2013-04-10

[3]

圆筒形掩模板的涂布装置和涂布方法 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN104614943A ,2015-05-13

[4]

圆筒形掩模板的涂布装置和涂布方法 [P].

刘洋 ;

伍强 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN104216230B ,2014-12-17

[5]

曝光装置及其曝光方法 [P].

刘畅 ;

伍强 .

中国专利 :CN104035287A ,2014-09-10

[6]

曝光掩模和使用该曝光掩模的曝光方法 [P].

李树雄 ;

白尚润 .

中国专利 :CN1637594A ,2005-07-13

[7]

掩模板温度控制装置和掩模曝光装置 [P].

张明辉 ;

周剑锋 ;

郑锋标 ;

张帅 .

中国专利 :CN111948907A ,2020-11-17

[8]

曝光装置检查用掩模、曝光装置检查方法和曝光装置 [P].

福原和也 .

中国专利 :CN1605934A ,2005-04-13

[9]

曝光装置及其曝光方法 [P].

伍强 ;

祖延雷 ;

胡华勇 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN104035285B ,2014-09-10

[10]

一种掩模板曝光装置 [P].

佘晓劲 ;

吴东 .

中国专利 :CN215867499U ,2022-02-18

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