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一种掩模板曝光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121754919.1
申请日：
2021-07-30
公开(公告)号：
CN215867499U
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
佘晓劲
吴东
申请人：
申请人地址：
211500 江苏省南京市矿业机电产业园18号（六合区马鞍街道境内）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 授权 | 授权 |