掩模板温度控制装置和掩模曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910409932.4

申请日：

2019-05-16

公开(公告)号：

CN111948907A

公开(公告)日：

2020-11-17

发明(设计)人：

张明辉周剑锋郑锋标张帅

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-28	授权	授权
2020-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190516
2020-11-17	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模台、掩模台系统和曝光装置 [P].

吴韦志 .

中国专利 :CN111694224A ,2020-09-22

[2]

掩模台、掩模台系统和曝光装置 [P].

吴韦志 .

中国专利 :CN209433186U ,2019-09-24

[3]

曝光装置和光掩模 [P].

畑中诚 .

中国专利 :CN102597880A ,2012-07-18

[4]

一种掩模板曝光装置 [P].

佘晓劲 ;

吴东 .

中国专利 :CN215867499U ,2022-02-18

[5]

圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 .

中国专利 :CN104035286A ,2014-09-10

[6]

圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法 [P].

伍强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN104035284A ,2014-09-10

[7]

曝光掩模和使用该曝光掩模的曝光方法 [P].

李树雄 ;

白尚润 .

中国专利 :CN1637594A ,2005-07-13

[8]

无掩模曝光装置 [P].

押田良忠 ;

小林和夫 .

中国专利 :CN101398631B ,2009-04-01

[9]

无掩模曝光装置 [P].

千田丽誉 .

中国专利 :CN202306138U ,2012-07-04

[10]

无掩模曝光装置 [P].

田卷纯一 .

中国专利 :CN104246615A ,2014-12-24

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