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掩模台、掩模台系统和曝光装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910193195.9
申请日：
2019-03-14
公开(公告)号：
CN111694224A
公开(公告)日：
2020-09-22
发明(设计)人：
吴韦志
申请人：
申请人地址：
230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G01H1700
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;高德志
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-22 | 公开 | 公开 |
| 2020-10-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190314 |