掩模台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311094392.8

申请日：

2023-08-29

公开(公告)号：

CN117651464A

公开(公告)日：

2024-03-05

发明(设计)人：

洪京浩金明圭朴成晧朴庄坤兪硕范李东载

申请人：

三星显示有限公司

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市

IPC主分类号：

H10K71/16

IPC分类号：

C23C14/04 C23C14/12 C23C14/24

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

杨帆;韩芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-05	公开	公开
2025-09-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10K 71/16申请日:20230829

共 50 条

[1]

掩模台、掩模台系统和曝光装置 [P].

吴韦志 .

中国专利 :CN111694224A ,2020-09-22

[2]

掩模台、掩模台系统和曝光装置 [P].

吴韦志 .

中国专利 :CN209433186U ,2019-09-24

[3]

掩模台及包括掩模台的沉积设备 [P].

白大源 ;

金义圭 ;

赵荣善 .

韩国专利 :CN120989556A ,2025-11-21

[4]

掩模台和包括掩模台的极紫外曝光装置 [P].

李相焕 ;

金度亨 ;

朴珍洪 ;

申河喆 ;

洪成哲 .

韩国专利 :CN118276413A ,2024-07-02

[5]

一种掩模台工作台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

刘召 ;

许岩 ;

张金 ;

田丽 ;

王婧 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102880013B ,2013-01-16

[6]

掩模台垂向测量工装及掩模台垂向测量方法 [P].

孟昆鹏 ;

薛雷 ;

程凯 ;

李高波 .

中国专利 :CN114252042A ,2022-03-29

[7]

掩模交接机构及具有该掩模交接机构的掩模台 [P].

江旭初 .

中国专利 :CN103676488A ,2014-03-26

[8]

掩模台垂向测量装置 [P].

江旭初 ;

李生强 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN102768470A ,2012-11-07

[9]

双功能掩模台底部装置 [P].

吴飞 ;

朱诚 ;

王保亮 ;

王凯 ;

袁志扬 .

中国专利 :CN202600359U ,2012-12-12

[10]

具有掩模交接保护功能的掩模台、方法及光刻设备 [P].

江旭初 ;

李生强 ;

董俊清 ;

徐涛 .

中国专利 :CN103019035A ,2013-04-03

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